NIR近紅外光譜儀利用MEMS技術降低尺寸

NIR近紅外光譜儀的完整偵測模塊，采用TO-8封裝

電子可調的通頻帶利用2個相等且可移動的反射載子，達到70%以上的zui大透射率，可讓施力于反射間隔上引起的振動與重力zui小化。

目前用于微型光譜儀中zui小Fabry-Perot干涉儀(FPI)的芯片尺寸約7mmx7mmx0.6mm

較大的光譜儀可用于取代實驗室中不需要達到zui高靈敏度或光譜范圍的光譜儀，或是作為取代某些特定應用光譜儀的理想選擇。其他應用包括工業工藝光譜儀、沼氣廠房控制、燃油監測系統以及食品質量分析。

較小的光譜儀基于Fabry-Perot干涉儀(FPI)，可打造足以塞進TO-8封裝的小尺寸。這款FPI芯片尺寸為7x7x0.6mm2，用于擴展標準固定波長多色紅外線探測器的功能。其極低價格和小尺寸使其適于紅外線光譜的大量應用，包括光譜成像、醫療測量、工業氣體分析儀、衰減式全反射(ATR)傳感器、手持式分析儀、傳感器網器、警示與安全系統等。