激光誘導擊穿光譜系統（LIBS）是一種基于激光與物質相互作用的發射光譜分析技術。以下是其工作原理：

　　

　　1、樣品激發與等離子體形成：高能量脈沖激光聚焦在樣品表面，當激光輻照度超過樣品的擊穿閾值時，樣品表面的微粒、分子、原子等會發生多光子電離，產生初始自由電子。這些初始自由電子繼續吸收光子并加速，與原子碰撞電離產生新的自由電子，引發雪崩效應，最終形成包含電子、離子、原子、分子和微粒等的激光誘導等離子體。

　　

　　2、等離子體冷卻與特征譜線發射：形成的等離子體溫度高，隨后會迅速膨脹和冷卻。在這個過程中，處于激發態的原子和離子會從高能級向低能級躍遷，并發射出特定波長的光輻射，即特征譜線。

　　

　　3、光譜采集與分析：使用光譜儀收集等離子體發射的特征譜線，得到LIBS光譜圖。通過分析光譜圖中譜線的波長和強度，可以識別樣品中存在的元素種類及其含量。通常認為等離子體中各種元素的比例與燒蝕樣品的元素比例一致，因此可根據譜線強度定量分析樣品中各元素的含量。

　　

　　激光誘導擊穿光譜系統利用高能脈沖激光與物質作用生成等離子體，再通過分析等離子體發射的特征光譜來獲取樣品的元素組成和含量信息，具有無接觸式、破壞性小、快速原位遠程分析、多元素同時在線監測等優點，被廣泛應用于多個領域。