OLED中ITO薄膜的透過率、厚度應用方案

應用背景

有機發光二極管（organic light-emitting diode，簡稱OLED）又稱為有機發光半導體，具有自發光、廣視角、幾乎無窮高的對比度、較低能耗、*反應速度等顯著的優點。OLED通常由多層功能材料成膜鍍在基底上所構成，這些功能膜層包括陰陽電極，以及兩極間的導電和光發射有機材料。目前，銦錫氧化物（簡稱ITO）有機膜層在OLED中得到較多的應用，該類氧化物晶格結構中含有氧原子的缺陷，為自由電子的運動和傳輸提供了空間，在兩電極的作用下，自由電子發生定向運動，從而實現了ITO薄膜的導電特性；除能導電外，ITO薄膜還具有較高的透光性能，這是由于氧化物中原子鍵存在間隙，自由電子的密度不高，從而光線可以穿透ITO薄膜的結果。因此， OLED的光電性能與ITO薄膜的透過率密切相關，一般要求可見光區域的透過率高于80%。另一方面，薄膜的厚度勢必會對光在其中的透過率產生影響，當厚度大于70nm時，透過率將減小。因而在OLED的生產和研發過程中，ITO導電膜的透過率以及厚度是需要被準確檢測和表征的。

OLED結構

OLED應用于顯示屏

應用測量原理介紹

ITO薄膜的測量應用包括其在可見光波段的透過率以及薄膜的厚度。測量原理分別介紹如下：

透過率：透過是光線在物質中不同于反射和吸收的一種行為方式，透過率為穿過物質的光強相對于原始光強的百分比。

薄膜厚度：薄膜厚度的測量是基于光波的干涉現象，具體可表述為光束照射在薄膜表面，由于入射介質、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系數值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面發生反射，反射光波相互干涉，從而形成干涉光，這些干涉光在不同相位處的強度將隨著薄膜的厚度發生變化。通過對干涉光的檢測，結合適當的光學模型即可計算得到薄膜的厚度。

微型光纖光譜儀優勢:

微型光纖光譜儀在ITO薄膜檢測中，具有以下顯著的優勢：

1. 體積小巧，適合原位在線監測。 
2. 易于操作、控制。             
3. 低成本；
4. 快速測量全譜。

海洋光學推薦應用配置

1. ITO薄膜透過率檢測

海洋光學的微型光纖光譜儀，在配置采樣平臺STAGE-RTL以及光源后即可應用于ITO薄膜的透過率檢測。具體配置如下：

薄膜透過率測量系統配置

不同汽車玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透過率

2.  ITO薄膜膜厚檢測

海洋光學NanoCalc膜厚儀檢測系統，配置有采樣平臺、UV-VIS反射探頭，可應用于ITO薄膜的膜厚檢測。具體配置如下：

薄膜厚度測量系統配置

NanoCalc膜厚儀系統參數

薄膜材料厚度測量結果舉例